微小電気機械システム (MEMS) は、高度に成長している分野です。それらは、さまざまなアプリケーションでのマイクロスケールデバイスの調査を可能にします.."
MEMS で一般的に使用される静電作動は、静電場と静電場が構造体に発生させる力に基づいています。静電力によって引き起こされる電極の変形は、RF マイクロスイッチ、櫛歯駆動、圧力センサーなどの電気機械アクチュエーターにおける主な懸念事項です。"
マイクロ電気機械システム (MEMS) は、マイクロポジショニング、マイクロ フィクスチャリング、マイクロ操作などのさまざまな応用向けに、複雑なエンジニアリング デバイスのサイズをマイクロメートル スケールに縮小することを可能にします。"
MEMSに基づいたマイクログリッパーは、マイクロ操作、マイクロアセンブリなどのさまざまなエンジニアリング応用における小型化デバイスで優れた柔軟性と適応性を発揮します。""
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