無線周波数 (RF) およびマイクロ波システムは通常、2 種類のマイクロ波構造を介して実行される完全な配電ネットワークを必要とします。入力信号を 2 つ以上の出力信号に分割するディバイダーと、複数の入力からの RF 入力信号を単一の RF 出力信号に関連付けるコンバイナーです。 .
MEMS で一般的に使用される静電作動は、静電場と静電場が構造体に発生させる力に基づいています。静電力によって引き起こされる電極の変形は、RF マイクロスイッチ、櫛歯駆動、圧力センサーなどの電気機械アクチュエーターにおける主な懸念事項です。"
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